冷坩堝晶體提拉爐
冷 坩 堝 晶 體 提 拉 爐
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型號 |
VLF-CZ |
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簡介 |
這是一款特殊的提拉法晶體生長爐,采用懸浮熔煉對金屬或合金樣品熔煉,最高溫度3000℃。這套設(shè)備有高頻感應(yīng)加熱電源、高真空腔體、水冷銅坩堝,精密提拉機(jī)構(gòu)組成。 |
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優(yōu)點 |
1、溫度高,最高3000℃ 2、采用懸浮熔煉冷坩堝,避免了坩堝的污染,可得到高純度金屬單晶或合金單晶 3、也可做懸浮熔煉爐使用,可澆鑄 |
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技術(shù)方案 |
1、提拉桿安裝在波紋管內(nèi),上下升降時,腔體真空度不泄漏 2、籽晶安裝在提拉桿下方,原料熔化后,慢慢提拉籽晶,邊提拉邊旋轉(zhuǎn),即可長出單晶 種籽晶 提拉 |
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最高加熱溫度 |
3000 |
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懸浮電源 |
最大輸入功率 |
120KW |
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采用電源 |
IGBT懸浮專用電源 |
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振蕩頻率 |
15-30KHZ(頻率自動跟蹤) |
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冷卻水要求 |
電源≥0.2MPa 坩堝 ≥0.5MPa |
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感應(yīng)線圈 |
懸浮爐專用線圈 |
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輸入電壓 |
三相380V 50 HZ |
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融化速率 |
10~15min |
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坩堝 |
懸浮專用水冷銅坩堝 |
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坩堝內(nèi)尺寸 |
Dia40X50mm |
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水冷銅坩堝 |
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精密提拉機(jī)構(gòu) |
提拉速度:0.1-2000μm/s 提拉行程:0-100mm (可根據(jù)客戶需要定制) 轉(zhuǎn)速:0-40RPM |
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腔體內(nèi)尺寸 |
Dia700X800 |
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腔體真空度 |
< 5X10 -4Pa(配分子泵,冷態(tài)極限真空度) |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過溫保護(hù) |
有 |
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過流保護(hù) |
有 |
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欠壓保護(hù)(水壓) |
有 |
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真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝 |
可以 |
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二次加料器(選購) |
為了在真空熔煉過程中添加各種元素,因此在加料器里裝有特制的4格加料器料斗,加料器有蓋,能把加料器進(jìn)行真空密封。在熔煉抽真空之前,把元素預(yù)先放在加料器料斗中,在添加元素時借手輪轉(zhuǎn)動加料器料斗,元素便從加料器口流出,流入到熔融金屬液面上,避免噴濺 |
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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真 空 機(jī) 組
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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(方案一)
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分子泵型號 |
FF160/620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S(對空氣) |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)(Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓(MPa) |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強(qiáng) |
<10Pa |
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前機(jī)真空泵TRP-24
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
220V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率(L/S) |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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擴(kuò)散泵TK150 (方案二)
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電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度(在無泄露時) |
10E-5 | |||
進(jìn)氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率(N2) |
1000L/S |
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復(fù)合真空計 |
復(fù)合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
VLF-CZ冷坩堝晶體生長爐
冷坩堝晶體生長爐爐是將分瓣水冷銅坩堝置于強(qiáng)大的交變磁場中,利用感應(yīng)渦流加熱水冷銅坩堝中的金屬使其融化,依靠電磁力使熔融金屬與水冷銅坩堝不產(chǎn)生密切接觸。這樣就避免了坩堝對需要熔煉材料的污染,金屬熔化后,籽晶桿邊旋轉(zhuǎn)邊提拉,從而能夠生長出高純度的金屬單晶或合金單晶。
一、本設(shè)備特點
1、采用臥式爐體,側(cè)部開門結(jié)構(gòu),進(jìn)出料方便,爐體結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間較小
2、可以30段程序控溫,控溫精確,可以控制升溫速率和恒溫時間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足熔煉不同KG數(shù)的物料
4、安裝有觀察孔,可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況
5、可安裝紅外測溫儀,可以精確的測量坩堝內(nèi)液體的溫度(選購)
6、配有擴(kuò)散泵或分子泵機(jī)組,真空度可達(dá)5X10-3Pa
7、電極和坩堝可以在爐體外手動轉(zhuǎn)動,液體可以在腔體內(nèi)完成傾倒和澆鑄,這樣就避免了澆鑄的危險和可以在真空下澆鑄。
8、具有二次加料系統(tǒng)。
9、轉(zhuǎn)動電極和爐體之間采用威爾遜密封,密封性能好,轉(zhuǎn)動較輕松。
10、安裝有水冷機(jī),水冷機(jī)具有欠壓和斷水報警,使用安全可靠(選購)。
11、采用IGBT電源,具有過溫、斷水保護(hù)并具有報警、輸出電流顯示等功能。
12、VLF系列真空懸浮熔煉爐是一款專用的現(xiàn)代化高純度熔煉設(shè)備,該設(shè)備真空度高、結(jié)構(gòu)緊湊、外形美觀,是一款適合于大專院校、科院院所和工礦企業(yè)等做材料高純?nèi)蹮?、鑄造用的理想產(chǎn)品。本產(chǎn)品主要在真空或保護(hù)氣氛條件下對金屬材料(如鈦、鎳、鈷等合金)及稀土超磁、伸縮合金、濺射靶材、多晶硅、高純稀土金屬的冶煉和提純。
二、設(shè)備優(yōu)點點
1、能夠熔煉高熔點的金屬材料;
2、由于沒有來自坩堝的雜質(zhì),可以生長超高純度的金屬單晶;
4、縮短熔化時間,達(dá)到快速熔化;
5、對水冷銅坩堝的損傷較小,水冷紫銅坩堝具有良好的使用壽命;
6、水冷銅坩堝和熔融的金屬液之間的軟接觸,減少了坩堝的冷卻負(fù)載,減少了熱量損失,降低能耗;
7、金屬熔液在非接觸狀態(tài)下容易從坩堝內(nèi)倒出;
三、水冷系統(tǒng)(選購):感應(yīng)爐、水冷銅坩堝上需要水冷卻。
四、結(jié)構(gòu)說明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、澆注裝置、充氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源控制系統(tǒng)等組成
1、爐體:為全不銹鋼結(jié)構(gòu)。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu),保證爐殼溫度不超過60℃。爐蓋打開方式為手動,并加有鎖緊裝置,爐蓋上設(shè)有觀察孔,方便觀察爐內(nèi)情況。
2、爐架:由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu),爐體安置在爐架上。
3、回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):與爐體用法蘭連接,感應(yīng)線圈由銅管繞成螺旋形從爐體引出,采用威爾遜密封,密封可靠,坩堝可放在感應(yīng)線圈上通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)做任意角度旋轉(zhuǎn)以完成溶化后的熔液傾倒?jié)茶T。
4、真空系統(tǒng):采用二級泵,即一臺擴(kuò)散泵(分子泵)與一臺直聯(lián)泵,真空機(jī)組上設(shè)有高真空擋板閥以及KF 快速連接真空放氣閥和充氣閥。
5、電源控制系統(tǒng):IGBT 懸浮專用電源、全數(shù)字電路等,電氣系統(tǒng)設(shè)有過流、過壓返饋及保護(hù)電路,電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作,控溫精度高,操作方便。
6、水冷系統(tǒng):由各種閥、管道等相關(guān)裝置組成,并設(shè)有斷水時聲光報警、自動切斷加熱電源功能。
7、水溫檢測:安裝有溫度計檢測水冷銅坩堝的出水溫度,溫度過高時會自動保護(hù),以免水冷銅坩堝被燒壞。
8、精密提拉機(jī)構(gòu):可邊旋轉(zhuǎn)邊提拉
供貨范圍:
序號 |
產(chǎn)品名稱 |
生產(chǎn)廠家 |
數(shù)量 |
1 |
爐體系統(tǒng) |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
2 |
分子泵(或擴(kuò)散泵) |
KYKY (成都南光) |
1 臺 |
3 |
紅外測溫儀 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
4 |
復(fù)合真空計 |
成都正華 |
1 臺 |
5 |
IGBT懸浮專用電源 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
6 |
匯流水管 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
7 |
氣動真空擋板閥 |
川北科技 |
3 件 |
8 |
懸浮專用水冷線圈 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1套 |
9 |
真空管路 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
10 |
說明書 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
11 |
機(jī)械泵 |
北京優(yōu)成 |
1臺 |
12 |
懸浮專用水冷銅坩堝 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |