液態(tài)蒸發(fā)器（LEP-800 ）
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型號(hào) |
LEP-800 |
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額定功率 |
1500W |
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額定電壓 |
AC 220V 50/60Hz |
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電阻絲加熱最高溫度 |
800℃ |
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加熱帶最高溫度 |
200℃ |
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推薦升溫速率 |
小于30℃/min |
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控溫方式 |
模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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氣體流量控制系統(tǒng) |
· 氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制 · 量程:0-500mml/minute（可調(diào)） · 面板上安裝有兩個(gè)不銹鋼針閥，以控制氣體的進(jìn)出 · 出氣口尺寸：6mm OD |
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應(yīng)用 |
· 此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接 · 可以選擇加熱帶，纏繞在外連接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸?shù)倪^(guò)程中不會(huì)液化 |
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加熱元件1 |
電加熱帶（保溫用） |
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加熱元件2 |
電阻絲（加熱器用的是電阻絲） |
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外形尺寸(長(zhǎng)x寬x高) |
350x250x（300~500可調(diào)）mm |
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設(shè)備凈重 |
約 25KG |
LEP-800液態(tài)蒸發(fā)器
LEP-800是一款專門針對(duì)實(shí)驗(yàn)室中CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的一套系統(tǒng)，其液體流量是通過(guò)蠕動(dòng)泵來(lái)控制，液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱器加熱成蒸汽，然后由供氣系統(tǒng)輸出的作為載氣的氫氣、氮?dú)饣蛘邭鍤獾葰怏w帶入到爐管中。LEP能夠?qū)С龆喾N液體，比如：H2O,CH5OH,TiCl4r, SiHCl3, 和Zn(C2H5)2，還有多種有機(jī)物混合。該設(shè)備廣泛用于各種使用非腐蝕性液態(tài)源蒸汽的CVD，催化反應(yīng)和活化實(shí)驗(yàn)。
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
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型號(hào) |
LEP-800 |
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額定功率 |
1500W |
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額定電壓 |
AC 220V 50/60Hz |
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電阻絲加熱最高溫度 |
800℃ |
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加熱帶最高溫度 |
200℃ |
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推薦升溫速率 |
小于30℃/min |
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控溫方式 |
模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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氣體流量控制系統(tǒng) |
· 氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制 · 量程:0-500mml/minute（可調(diào)） · 面板上安裝有兩個(gè)不銹鋼針閥，以控制氣體的進(jìn)出 · 出氣口尺寸：6mm OD |
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應(yīng)用 |
· 此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接 · 可以選擇加熱帶，纏繞在外連接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸?shù)倪^(guò)程中不會(huì)液化 |
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加熱元件1 |
電加熱帶（保溫用） |
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加熱元件2 |
電阻絲（加熱器用的是電阻絲） |
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外形尺寸(長(zhǎng)x寬x高) |
350x250x（300~500可調(diào)）mm |
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設(shè)備凈重 |
約 25 KG |
