1200度雙溫區(qū)可調(diào)真空CVD雙管爐
主要技術(shù)參數(shù)
TL1200雙管管式爐
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型號(hào) |
TL1200-D-C-I |
TL1200-D-C-II |
功率 |
3.6KW |
3.6KW |
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外管尺寸(mm) |
Dia 80(ID73)X1500 |
Dia 100(ID93) X1500 |
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內(nèi)管尺寸(mm) |
Dia 60(ID53)X1700 |
Dia 80(ID73)X1700 |
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外形尺(LXDXH) |
2000X700X1500 |
2000X700X1500 |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
進(jìn)口瑞典Canthal A1 電阻絲 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配) 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,,(當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí), 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi),主電路斷開(kāi),面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。 3、帶有485 通訊接口(選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配) 4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能 (更換進(jìn)口儀表,需要另外付費(fèi),選購(gòu)) |
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過(guò)溫保護(hù) |
有 |
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過(guò)流保護(hù) |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國(guó)西門康 |
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最高溫度 |
1200 ℃ |
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額定溫度 |
1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min (可根據(jù)要求修改) |
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推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
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熱電偶型號(hào) |
K 型 |
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加熱段長(zhǎng)度 |
205+205mm |
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電器認(rèn)證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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流量控制和檢測(cè)采用
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量程和氣體 |
采用質(zhì)子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意選擇量程和所通氣體的類型) |
耐壓 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作(使用)壓力 |
0.3MPa |
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線性 |
±0.5%F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2% F.S |
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路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路) |
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接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 1/4” |
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VS-0.1抽氣系統(tǒng)
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電源 |
220V |
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尺寸 |
600X600X600 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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型號(hào) |
VRD-8 |
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極限分壓強(qiáng) |
5X10-2 Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機(jī)功率 |
0.4KW |
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Perfeer ACP15無(wú)油多級(jí)羅茨泵
(方案二) |
型號(hào) | ACP15 | |
電源 | AC100~240V 50/60HZ | ||
功率 | 450W | ||
抽、排氣接口 | KF25 | ||
重量 | 25KG | ||
最大氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||
極限真空度 | 0.02 Torr | ||
抽氣速率 | 14 m3/h | ||
型號(hào) |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測(cè)量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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(選購(gòu))
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型號(hào) |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC(配有220V變壓器) |
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真空計(jì)接口 |
KF16 |
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數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
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產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測(cè)氣體 |
可檢測(cè)各種氣體,包括混合氣體,測(cè)量精確、重復(fù)性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應(yīng)時(shí)間 |
≤30ms |
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測(cè)量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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分子泵機(jī)組(選購(gòu)) |
機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機(jī)箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型號(hào) |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S(對(duì)空氣) |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)(Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓(MPa) |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃< p=""> |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強(qiáng) |
<100pa< p=""> |
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(方案一)
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率(L/S) |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機(jī)泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率(N2) |
33L/S |
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復(fù)合真空計(jì) |
復(fù)合真空計(jì)型號(hào) |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計(jì)測(cè)量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
CVD系統(tǒng) 由供氣系統(tǒng)+雙管管式爐+抽氣系統(tǒng) ,最高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+TL1200雙管管式爐+低真空系統(tǒng)組成
雙管管式爐不同于普通的管式爐,他是由雙管組成、襯底包覆在內(nèi)管上、形成一個(gè)環(huán)狀,這樣能夠大大的提高CVD生長(zhǎng)的面積。
滑動(dòng)式雙管爐是一種特殊的CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔(像銅箔、鋁箔等)上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),廣泛應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究上,特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長(zhǎng)。這款雙管式爐以進(jìn)口電阻絲康泰爾(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
雙管管式爐爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手推滑動(dòng)。加熱和冷卻速率最大可達(dá)100°C/min。為取得快速加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得快速冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 國(guó)產(chǎn)電阻絲爐膛 VS 進(jìn)口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意)、不會(huì)生銹,使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站:www.kanthal.com
(5)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲 Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
有時(shí)候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小 溫場(chǎng)效果好
2、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器:
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí),空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái),隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
4、采用4周加熱,溫場(chǎng)更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 (全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)
6、認(rèn)證
7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm(選購(gòu)) 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭(選購(gòu)) 水冷法蘭(選購(gòu))
可調(diào)真空:通過(guò)調(diào)節(jié)真空擋板閥閥門開(kāi)關(guān)和用微電腦調(diào)節(jié)真空泵電機(jī)的轉(zhuǎn)速來(lái)實(shí)現(xiàn)雙管管式爐內(nèi)真空度在10-10000Pa之間某一范圍內(nèi)恒定。
雙管CVD系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配件