2200℃晶體生長爐
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
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VIF晶體生長爐
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型號(hào) |
VIF-2-LD |
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棒料尺寸 |
Φ25mm，長度400mm（也可定制其它尺寸） |
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最高加熱溫度 |
2200度 |
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高頻加熱電源
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采用電源 |
高頻感應(yīng)電源 |
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振蕩頻率 |
30-80KHZ |
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最大輸入功率 |
70KW |
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加熱電流 |
15-150A |
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冷卻水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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電源重量 |
35KG |
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負(fù)載持續(xù)率 |
100% |
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輸入電壓 |
三相380V 50或60HZ |
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加熱方式 |
感應(yīng)加熱 |
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腔體內(nèi)直徑 |
500mm |
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腔體真空度（分子泵機(jī)組） |
< 6X10 -4Pa |
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腔體充氣壓力 |
< 0.05MPa |
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升壓率 |
<4Pa/小時(shí) |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過溫保護(hù) |
有 |
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過流保護(hù) |
有 |
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欠壓保護(hù)（水壓） |
有 |
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控溫模式 |
智能PID |
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控制精度 |
±1~ 5 ℃（600度以上） |
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溫度檢測(cè)方式 |
紅外測(cè)溫儀 |
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紅外測(cè)溫儀
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1、美國進(jìn)口紅外測(cè)溫儀，特點(diǎn)1、響應(yīng)時(shí)間快、高精度； 2、可24小時(shí)實(shí)時(shí)連續(xù)在線測(cè)溫、安全、耐用； 3、激光瞄準(zhǔn)、穩(wěn)定性好、尤其適合測(cè)量高溫小目標(biāo)； 4、10毫秒的響應(yīng)時(shí)間和±0.3%的重復(fù)性精度，保證滿足您進(jìn)行快速、精確測(cè)溫的要求。 測(cè)溫范圍：1000~3200℃ |
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技術(shù)方案 |
坩堝底部帶有一個(gè)8mm的孔洞，用塞桿將洞堵住，然后在坩堝中放物料，物料被加熱充分熔化后，將塞桿拔出，熔化的液體從孔洞流出，跟隨引桿慢慢凝固下移，形成棒材 |
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真空腔體內(nèi)是否可接水冷坩堝 |
可以 |
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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真空機(jī)組
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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前機(jī)真空泵BSV30
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功率 |
1.1KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
8 |
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極限壓強(qiáng) |
5X10 -1Pa |
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復(fù)合真空計(jì) |
復(fù)合真空計(jì)型號(hào) |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計(jì)測(cè)量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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二級(jí)泵 為分子泵 （方案一） |
分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）
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分子泵型號(hào) |
FJ620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動(dòng)壓強(qiáng) |
<10Pa |
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二級(jí)泵為擴(kuò)散泵
（方案二） |
擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） |
電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度（在無泄露時(shí)） |
10E-5Pa |
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進(jìn)氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率（N2） |
1000L/S |
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水冷機(jī)（選購） HZ-03A |
電源 |
3PH-380V/50HZ |
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最大揚(yáng)程 |
40M |
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最大流量 |
16L/min |
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水箱容量 |
60L |
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制冷量 |
103Kcal/h |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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機(jī)器尺寸 |
1150×520×1145(長X寬X高) |
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一、設(shè)備特點(diǎn)
1、采用臥式爐體，側(cè)部開門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測(cè)溫儀，可以精確的測(cè)量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長。
二、結(jié)構(gòu)說明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成 ，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過40℃。爐蓋采用前開門結(jié)構(gòu)，爐蓋打開方式為手動(dòng)，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購測(cè)溫元件時(shí))：溫控系統(tǒng)是由測(cè)溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測(cè)溫儀，把紅外測(cè)溫儀輸出的1-5V信號(hào)通過控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號(hào)，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個(gè)閉合回路，可以對(duì)爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。
| 名稱 | 單位 | 數(shù)量 |
| 爐體 | 臺(tái) | 1 |
| 感應(yīng)電源 | 套 | 1 |
| 紅外測(cè)溫儀 | 臺(tái) | 1 |
| 線圈 | 個(gè) | 1 |
| 坩堝 | 個(gè) | 1 |
| 擴(kuò)散泵 | 臺(tái) | 1 |
| 分子泵（選配） | 臺(tái) | 1 |
| 機(jī)械泵 | 臺(tái) | 1 |
| 真空閥門 | 套 | 3 |
| 水冷機(jī)（選配） | 臺(tái) | 1 |
| 觸摸屏 | 臺(tái) | 1 |
| 溫度控制器 | 臺(tái) | 1 |
| 旋轉(zhuǎn)電極 | 套 | 1 |
| 拉錠裝置 | 套 | 1 |
| 冷卻裝置 | 套 | 1 |
