1200度三溫區(qū)晶體生長(zhǎng)爐
這款提拉式晶體生長(zhǎng)爐是在三溫區(qū)立式管式爐的基礎(chǔ)上安裝旋轉(zhuǎn)提拉裝置和旋轉(zhuǎn)下降裝置而成，并具有定向凝固的功能。
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
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型號(hào) |
VTL1200-1200-1200-I |
VTL1200-1200-1200-II |
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功率 |
5.4KW |
5.4KW |
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爐管尺寸 |
Dia60(OD)X1300mm |
Dia80(OD)X1300mm |
| 外形尺寸（mm） | 爐體部分700X650X3600 電器部分900X650X900 | |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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提拉機(jī)構(gòu) |
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下降機(jī)構(gòu) |
坩堝由石英支架支撐 提拉速度：0.1μm/s~2000μm/s 下降行程：0-150mm （可根據(jù)客戶需要定制） 轉(zhuǎn)速：0-40RPM 可以用于定向凝固 |
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加熱元件 |
國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進(jìn)口電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 |
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控制方式 |
采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能 （更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)）
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爐膛材料 |
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、采用日本技術(shù)成型。 3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng) |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ 用歐陸表可以提升到+/- 0.1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國(guó)西門(mén)康 |
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第一溫區(qū)最高溫度 |
1200 ℃ |
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第二溫區(qū)最高溫度 |
1200 ℃ |
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第一溫區(qū)額定溫度 |
1100 ℃ |
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第二溫區(qū)額定溫度 |
1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15 ℃/ Min |
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熱電偶型號(hào) |
K型 |
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加熱段長(zhǎng)度 |
140+140+140mm |
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恒溫區(qū)長(zhǎng)度 |
300~350 |
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真空度 |
1、單級(jí)泵 TW-1.5A 2、 雙級(jí)泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系統(tǒng)
4、 VS高真空系統(tǒng) 5、 恒壓泵 6、英國(guó)PCG550（INFICON）電容真空計(jì) 1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來(lái)用：TW-1.5A單級(jí)泵即可。 2、雙級(jí)泵2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。 3、VS-0.1真空系統(tǒng)能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到0.1Pa（并配帶有電阻真空計(jì)顯示）。 4、VS高真空系統(tǒng)（該系統(tǒng)是由分子和機(jī)械泵組成）能夠把管式爐爐管內(nèi)的真空度抽到10-3 Pa。 5、恒壓泵（該系統(tǒng)可以把管內(nèi)壓力控制在-100.0KPa~100.0KPa）。 6、英國(guó)（INFICON）電容真空計(jì)（測(cè)量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好、可選防腐類(lèi)型PCG554）
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下端真空法蘭 |
1、為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求?？蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25） 2、如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭. |
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| 上端真空法蘭 |  |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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| 開(kāi)蓋安全保護(hù)系統(tǒng) |
爐體上帶有空氣開(kāi)關(guān)和保險(xiǎn)絲 ，當(dāng)電流超過(guò)空開(kāi)的額定電流時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)跳開(kāi)，有效的保護(hù)電爐。 |
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| 爐塞、材料放置 | ||
| 保修期 |
一年質(zhì)保 ，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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| 注意事項(xiàng) |
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa 3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng) 4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊 5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
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1、 電阻絲
電阻絲 原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場(chǎng)效果好
2、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、認(rèn)證
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7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購(gòu)） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購(gòu)） 水冷法蘭（選購(gòu)）
標(biāo)準(zhǔn)配件
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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VTL1200 立式管式爐 |
1 臺(tái) |
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石英管60mm OD x 1000mm L |
1根 |
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不銹鋼下法蘭 |
1 個(gè) |
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| 不銹鋼上法蘭 | 1個(gè) | |
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不銹鋼爐鉤 |
1 個(gè) |
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氧化鋁爐塞 |
2個(gè) |
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高溫手套 |
1 雙 |
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石英坩堝 |
個(gè) |
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| Ｋ型熱電偶 | 1個(gè) |  |
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COM轉(zhuǎn)USB接口（選配） |
1 套 |
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說(shuō)明書(shū) |
1 份 |
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軟件（選配） |
1份 |
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