2000度提拉法晶體生長(zhǎng)爐
這是一款特殊的提拉法（CZ）晶體生長(zhǎng)爐（采用感應(yīng)熔煉對(duì)金屬樣品熔化，最高溫度可達(dá)2100℃）。此系統(tǒng)采用組成：高頻感應(yīng)加熱電源，高真空腔體，石墨坩堝和精密提拉機(jī)構(gòu)。
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VIF 真 空 感 應(yīng) 熔 煉 爐
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型號(hào) |
VIF-CZ |
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最大熔煉重量（按鐵液計(jì)算） |
1Kg |
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最高加熱溫度 |
2100度 |
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高頻加熱電源
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采用電源 |
高頻感應(yīng)電源 |
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振蕩頻率 |
30-80KHZ |
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最大輸入功率 |
35KW |
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加熱電流 |
12-70A |
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冷卻水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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電源重量 |
35KG |
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負(fù)載持續(xù)率 |
100% |
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輸入電壓 |
三相380V 50或60HZ |
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加熱方式 |
感應(yīng)加熱 |
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腔體內(nèi)直徑 |
500mm |
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腔體真空度（分子泵機(jī)組） |
< 8X10 -4Pa |
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腔體充氣壓力 |
< 0.5MPa |
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升壓率 |
<4Pa/小時(shí) |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過(guò)溫保護(hù) |
有 |
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過(guò)流保護(hù) |
有 |
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欠壓保護(hù)（水壓） |
有 |
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控溫模式 |
智能PID |
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控制精度 |
+/- 1~ 5 ℃（600度以上） |
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溫度檢測(cè)方式 |
B型熱電偶和紅外測(cè)溫儀相結(jié)合。溫度超過(guò)1800度，熱電偶退出，用紅外測(cè)溫儀測(cè)溫。 B型熱電偶的測(cè)量范圍：0-1800℃ 紅外測(cè)溫儀的測(cè)量范圍：900-2300℃ |
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紅外測(cè)溫儀 |
美國(guó)進(jìn)口紅外測(cè)溫儀，特點(diǎn)1、響應(yīng)時(shí)間快、高精度； 2、可24小時(shí)實(shí)時(shí)連續(xù)在線測(cè)溫、安全、耐用； 3、激光瞄準(zhǔn)、穩(wěn)定性好、尤其適合測(cè)量高溫小目標(biāo)； 4、10毫秒的響應(yīng)時(shí)間和±0.3%的重復(fù)性精度，保證滿足您進(jìn)行快速、精確測(cè)溫的要求。 |
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觀察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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電動(dòng)攪拌裝置（選配） |
該爐可以配攪拌裝置，可以勻速的對(duì)物料進(jìn)行攪拌，攪拌棒由一個(gè)調(diào)速電機(jī)帶動(dòng)、攪拌棒與爐體之間采用威爾遜或磁流體和波紋管密封，攪拌棒和電機(jī)在電動(dòng)動(dòng)絲桿的帶動(dòng)下可以上下自由滑動(dòng)，進(jìn)入坩堝和從坩堝里出來(lái)。 |
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提拉機(jī)構(gòu) |
精密可旋轉(zhuǎn)（籽晶桿可旋轉(zhuǎn)）提拉機(jī)構(gòu)，提拉速度為0.1μm/s~2000μm/s 總行程：150mm （可根據(jù)客戶需要定制） 籽晶桿轉(zhuǎn)速：0-40RPM 下面是生長(zhǎng)鍺單晶的詳細(xì)圖片
原材料熔融 種籽晶 提拉 熔融 |
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真 空 機(jī) 組
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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前級(jí)機(jī)械泵FX-32
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功率 |
1.2KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
8 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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復(fù)合真空計(jì) |
復(fù)合真空計(jì)型號(hào) |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計(jì)測(cè)量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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二級(jí)泵 為分子泵 （方案一） |
分子泵 （可以把腔體真空度抽到6X10E-4Pa）
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分子泵型號(hào) |
FJ620 |
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輸入電壓 |
220V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動(dòng)壓強(qiáng) |
<100Pa |
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二級(jí)泵為擴(kuò)散泵
（方案二） |
擴(kuò)散泵 可以把腔體真空度抽到5X10E-3Pa） |
電壓 |
220V |
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功率 |
1000W |
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極限真空度（在無(wú)泄露時(shí)） |
10E-5Pa |
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進(jìn)氣接口 |
DN150 |
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出氣接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽氣速率（N2） |
1000L/S |
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水冷機(jī)（選購(gòu)）
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電源 |
220V 1.68KW |
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最大揚(yáng)程 |
25M |
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最大流量 |
16L/min |
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水箱容量 |
15L |
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制冷量 |
4420Kcal/h |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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機(jī)器尺寸 |
67X47X89(長(zhǎng)X寬X高) |
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注意事項(xiàng)
1、此款熔煉爐需在真空或氣壓小于0.02MPa（相對(duì)氣壓）的低壓條件下使用；
2、若用戶需要在氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，必須在進(jìn)氣氣瓶上安裝減壓閥，減壓閥的氣壓設(shè)置要小于0.02MPa，
進(jìn)氣流量<200SCCM（200ml/min)
3、請(qǐng)您仔細(xì)閱讀說(shuō)明書，了解真空熔煉和惰性氣體環(huán)境下熔煉的標(biāo)準(zhǔn)操作程序。在操作過(guò)程中請(qǐng)密切監(jiān)控并正確控制反
應(yīng)容器內(nèi)部壓力，否則，操作失敗可能導(dǎo)致設(shè)備損壞或人身傷害
4、對(duì)樣品加熱時(shí)，不建議關(guān)閉抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若氣閥關(guān)閉對(duì)樣品加熱，要時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)
大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防不可預(yù)見(jiàn)的損失
如您需要定制，請(qǐng)聯(lián)系我公司工程師
一、設(shè)備特點(diǎn)
1、采用臥式爐體，側(cè)部開(kāi)門結(jié)構(gòu)，進(jìn)出料方便，爐體結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間較小。
2、可以50段程序控溫，控溫精確，可以控制升溫速率和恒溫時(shí)間。
3、可以方便的更換不同的線圈以滿足不同大小的晶體生長(zhǎng)。
4、安裝有觀察孔，可以清晰的爐內(nèi)坩堝物料的情況。
5、安裝有紅外測(cè)溫儀，可以精確的測(cè)量加熱套的溫度。
6、配有分子泵，真空度可達(dá)8X10-4Pa
7、安裝有水冷機(jī)，水冷機(jī)具有欠壓和斷水報(bào)警，使用安全可靠。
8、采用IGBT電源，具有過(guò)溫、斷水保護(hù)并具有報(bào)警、輸出電流顯示等功能。
12、廣泛應(yīng)用于大專院校及科研單位等在真空或保護(hù)氣氛條件下晶體的生長(zhǎng)。
二、結(jié)構(gòu)說(shuō)明
本產(chǎn)品由爐蓋、爐體、氣氛控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、IGBT 電源、控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、工作臺(tái)、電控系統(tǒng)等組成 ，爐體、氣氛控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等組成部分都安裝在設(shè)備臺(tái)架上，使整個(gè)設(shè)備成為一體,爐架下安裝有水平調(diào)節(jié)輪、不但可以自由的拖動(dòng)，并有調(diào)節(jié)水平的功能。
1、爐體：為全304不銹鋼結(jié)構(gòu)，氬弧焊焊接。爐殼采用雙層水冷結(jié)構(gòu)，保證爐殼溫度不超過(guò)40℃。爐蓋采用前開(kāi)門結(jié)構(gòu)，爐蓋打開(kāi)方式為手動(dòng)，并加有鎖緊裝置，爐蓋上設(shè)有觀察孔，方便觀察爐內(nèi)情況。爐體上安裝有進(jìn)出氣口、與水冷機(jī)連接的進(jìn)出水口和安裝有連接爐體內(nèi)澆注裝置的進(jìn)出水管。
2、爐架：由型鋼鋼板組焊成柜架結(jié)構(gòu)，爐體安置在爐架上。
3、溫控系統(tǒng)(選購(gòu)測(cè)溫元件時(shí))：溫控系統(tǒng)是由測(cè)溫系統(tǒng)，溫控儀表組成，爐體上配有紅外測(cè)溫儀，把紅外測(cè)溫儀輸出的1-5V信號(hào)通過(guò)控溫儀表轉(zhuǎn)換為溫度信號(hào)，控溫儀表可以控制感應(yīng)爐的輸出功率，這樣形成一個(gè)閉合回路，可以對(duì)爐子的升溫進(jìn)行編程控制，可以進(jìn)行50段程序控溫，控溫精度準(zhǔn)確，升溫速率可調(diào)，并可以進(jìn)行恒溫，以方便控制澆鑄時(shí)的溫度控制。
供貨范圍
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序號(hào) |
產(chǎn)品名稱 |
生產(chǎn)廠家 |
數(shù)量 |
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1 |
爐體系統(tǒng) |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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2 |
直聯(lián)泵 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 臺(tái) |
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3 |
擴(kuò)散泵 |
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1 臺(tái) |
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4 |
復(fù)合真空計(jì) |
成都正華 |
1 臺(tái) |
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5 |
IGBT 電源 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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6 |
匯流水管 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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7 |
高真空閥門 |
川北科技 |
3 件 |
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8 |
感應(yīng)線圈 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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9 |
真空管路 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1 套 |
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10 |
說(shuō)明書 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
2 套 |
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11 |
紅外測(cè)溫儀 |
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 |
1套 |
| 12 | 提拉機(jī) | 南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司 | 1套 |
