1200度預(yù)加熱滑竿式CVD系統(tǒng)
此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到1000℃的預(yù)加熱器，輔助二維材料蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)管式爐，溫度控制精確，操作簡便。并配質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力和氣體流量，對于生長MoS2等二維材料非常實用，重復(fù)性好。
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TL1200 管式爐
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型號 |
TL1200-C-I |
TL1200- C-II |
TL1200-C-III |
TL1200-C-IV |
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預(yù)加熱器 |
額定溫度：800℃ 最高溫度：1000℃ 最快升溫速率：≤30℃/min 推薦升溫速率：≤15℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220V 額定功率：1.4KW 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
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功率 |
3.5KW |
3.5KW |
3.5KW |
5KW |
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爐管 |
石英管:60/80/100/150*1500mm(管徑可選） 兩邊各放置一個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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外形尺（LXDXH） |
2100×700×1500 |
2100×700×1500 |
2100×700×1500 |
2100×750×1550 |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲 （可選配瑞典 Kanthal A1進(jìn)口電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時。 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購） |
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過溫保護(hù) |
有 |
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過流保護(hù) |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
1200 ℃ |
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額定溫度 |
1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
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熱電偶型號 |
K 型 |
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加熱段長度 |
440mm |
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電器認(rèn)證 |
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四周表面溫度 |
≤45 ℃ |
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閥門和法蘭
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量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
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耐壓 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
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線性 |
±0.5%F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2% F.S |
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路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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電源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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型號 |
VRD-8 |
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極限分壓強(qiáng) |
5X10-2 Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機(jī)功率 |
0.4KW |
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（方案二） |
型號 | ACP15 | ||||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |||||
| 功率 | 450W | |||||
| 重量 | 25KG | |||||
| 最高氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||||
| 極限壓強(qiáng) | 0.02Torr | |||||
| 進(jìn)、排氣接口 | KF25 | |||||
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型號 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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型號 |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計接口 |
KF16 |
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數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
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產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應(yīng)時間 |
≤30ms |
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測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機(jī)箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強(qiáng) |
<100pa |
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機(jī)泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復(fù)合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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保修期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
這套CVD系統(tǒng)帶有預(yù)熱系統(tǒng)，由預(yù)熱系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，最高溫度可以達(dá)到1200度加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)，極限真空可以達(dá)到10-1Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是4路質(zhì)子流量計，
這款管式爐以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。
1、 電阻絲
電阻絲 原絲 電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、電阻均衡、溫場均衡性好
電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、不銹鋼支撐架
7、認(rèn)證
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8、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
TL1200-CVD系統(tǒng)標(biāo)配
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1200管式爐 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1 套 |
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不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
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氧化鋁爐塞 |
1對 |
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高溫手套 |
1 雙 |
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氧化鋁坩堝 |
1個 |
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| Ｋ型熱電偶 | 1個 |  |
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485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） |
1 套 |
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說明書 |
1本 |
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法蘭支撐架 |
1 對 |
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供氣系統(tǒng)
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1臺 |  |
| VS-0.1抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
