1200度PECVD系統(tǒng)雙管PECVD
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
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TL1200-1200 管式爐
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型號 |
TL1200-1200-PECVD-I |
TL1200-1200-PECVD-II | ||
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功率 |
3.6KW |
3.6KW | |||
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外管尺寸 |
Dia 80(OD) X1200mm |
Dia 100（OD) X1200mm |
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內(nèi)管尺寸 |
Dia 60(OD) X1400mm |
Dia 80(OD) X1400mm |
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石英管:60/80/100*1200/1400mm(管徑可選） 兩邊各放置一個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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外形尺寸（LXDXH） |
1800X500X1200 |
1800X550X1200 | |||
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進(jìn)口電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時， 主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購） |
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過溫保護(hù) |
有 |
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過流保護(hù) |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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最高溫度 |
溫區(qū)一：1200 ℃ 溫區(qū)二：1200 ℃ | ||||
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額定溫度 |
溫區(qū)一：1100 ℃ 溫區(qū)二：1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤10℃/ Min |
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熱電偶型號 |
溫區(qū)一：K 型 溫區(qū)二：K 型 |
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加熱段長度 |
溫區(qū)一：205mm 溫區(qū)二：205 mm |
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溫場曲線 |
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電器認(rèn)證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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閥門和法蘭
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功率輸出范圍 |
0-500W |
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最大反射功率 |
200W |
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工作頻率 |
射頻：13.56MHZ±0.005% |
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功率穩(wěn)定度 |
+/-0.1% | ||||
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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射頻區(qū)域?qū)挾?/p> |
0-600mm 可調(diào) |
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匹配方式 |
自動 |
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冷卻方式 |
分冷 |
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噪聲 |
<50dB |
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射頻接口 |
50Ω N-type |
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輸入電源 |
208-240V 50/60HZ |
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量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
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耐壓 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
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線性 |
±0.5%F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2% F.S |
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路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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電源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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型號 |
VRD-8 |
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極限分壓強(qiáng) |
5X10-2 Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機(jī)功率 |
0.4KW |
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型號 | ACP15 | |||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | ||||
| 功率 | 450W | ||||
| 重量 | 25KG | ||||
| 最高氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | ||||
| 極限壓強(qiáng) | 0.02Torr | ||||
| 進(jìn)、排氣接口 | KF25 | ||||
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型號 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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型號 |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計接口 |
KF16 |
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數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
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產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測氣體 |
可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應(yīng)時間 |
≤30ms |
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測量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機(jī)箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強(qiáng) |
<100pa |
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機(jī)泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復(fù)合真空計型號 |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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保修期
一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
TL1200-1200雙溫區(qū)雙管PECVD系統(tǒng)，由TL1200-1200雙管管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。
主要特點(diǎn)：
1、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
這款TL1200-1200 雙溫區(qū)雙管PECVD系統(tǒng)以電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本成型技術(shù)氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、價格優(yōu)惠等優(yōu)點(diǎn)。
雙管管式爐不同于普通的管式爐，他是由雙管組成、襯底包覆在內(nèi)管上、形成一個環(huán)狀，這樣能夠大大的提高CVD生長的面積。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 進(jìn)口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：www.kanthal.com
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場效果好
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本成熟的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、認(rèn)證
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7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
TL1200-1200雙管雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)標(biāo)配
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1200-1200雙管管式爐 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1 套 |
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不銹鋼爐鉤 |
1 個 |
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氧化鋁爐塞 |
1對 |
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高溫手套 |
1 雙 |
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氧化鋁坩堝 |
1個 |
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| Ｋ型熱電偶 | 1個 |  |
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485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） |
1 套 |
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說明書 |
1本 |
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法蘭支撐架 |
1對 |
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供氣系統(tǒng) |
1臺 |  |
| VS-0.1抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 射頻電源 | 1臺 |
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| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個 |  |
| 閥門接頭 | 2個 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
