型號(hào)

ALD-TL1200-PE -I

ALD-TL1200-PE -II  

ALD-TL1200-PE -III

ALD 控制面板

1 、5路控制溫控系統(tǒng)，可以加熱ALD里管路和ALD容器內(nèi)液體

2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)（交替時(shí)間、交替次數(shù)等、用單片機(jī)或PLC 控制能夠達(dá)到ms）

ALD閥門

1、能夠在不到 5 ms 內(nèi)完成閥門開啟或關(guān)閉

2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產(chǎn)品評(píng)估是循環(huán)次數(shù)超過了25000000次

3、耐 熱 執(zhí) 行 器 、耐 溫 高 達(dá)200°C（392°F）

ALD原理

ALD化學(xué)氣相沉積是將不同的反應(yīng)前驅(qū)物以氣體脈沖的形式交替送入反應(yīng)室中并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法（技術(shù)）

源瓶

源瓶特點(diǎn)

1、所用管件采用316L不銹鋼，內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光，Ra≤0.25μm。

2、閥門采用美國(guó)世偉洛克球閥或隔膜閥。

3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。

4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≤1.0*10mba L/s。

^{_{5、可盛裝化學(xué)品純度≥99.9995%。}}

^{_{6、總殘余元素量≤50PPb。}}

ALD-PECVD簡(jiǎn)圖

1、 2個(gè)石英容器與ALD管路連接

2、 2個(gè)ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入

3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進(jìn)入反應(yīng)區(qū)域。

4、多個(gè)球閥控制管路的通過。

5、多個(gè)旁通支路、可以通氣其他氣體或運(yùn)載氣體。

 功率

3.5KW

TL1200 管式爐

  爐管尺寸

Dia 60(OD) X1800mm

Dia 80(OD) X1800mm

Dia 100(OD) X1800mm

外形尺（LXDXH）

1300X410X610

1300X410X610

1300X410X660

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1進(jìn)口電阻絲）  點(diǎn)擊進(jìn)入資料下

控制方式

 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配）

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí)，

主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購）

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

（日本島電）

控溫模式

智能PID

斷偶保護(hù)和顯示

有

過溫保護(hù)

有

過流保護(hù)

有

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國(guó)西門康

最高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

推薦升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號(hào)

K  型

加熱段長(zhǎng)度

440mm

電器認(rèn)證

四周表面溫度

≤45℃

射頻電源

（等離子體發(fā)生器）

功率輸出范圍

  0-500W

最大反射功率

200W

工作頻率

射頻：13.56MHZ±0.005%

功率穩(wěn)定度

 +/-0.1%

諧波分量

≤-50dbc

射頻區(qū)域?qū)挾?/p>

0-600mm 可調(diào)

匹配方式

 自動(dòng)

冷卻方式

 分冷

 噪聲

 <50dB

射頻接口

 50Ω   N-type

輸入電源 

 208-240V  50/60HZ

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

質(zhì)量流量計(jì)

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作（使用）壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S

路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

方案一或方案二任選一個(gè)

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-8真空泵 

方案一

型號(hào)

VRD-8

  極限分壓強(qiáng)

5X10-2 Pa

   進(jìn)排氣接口

 KF25

    電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機(jī)功率

0.4KW

Preiffer ACP15無油多級(jí)羅茨泵

方案二

型號(hào)

ACP15

電源

 AC100-240   50/60HZ

功率

450W

重量

25KG

最高氦氣漏率

5 · 10-8 Pa m3/s 

抽氣速率

14  m3/h

極限壓強(qiáng)

0.02Torr

進(jìn)、排氣接口

KF25

電阻真空計(jì)

（方案一）

   型號(hào)

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測(cè)量范圍

0.1-10 5 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

瑞典（INFICON）

  皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)

（方案二）

     型號(hào)

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC（配有220V變壓器）

真空計(jì)接口

KF16

數(shù)字顯示

數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

產(chǎn)品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測(cè)氣體

可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。

是否防腐

防腐

響應(yīng)時(shí)間

≤30ms

測(cè)量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機(jī)組（選購）

（方案一或方案二任選一個(gè)）

機(jī)組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機(jī)箱尺寸

600X600X600

分子泵

（方案一）

 分子泵型號(hào)

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進(jìn)氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣）

  600

分子泵極限壓強(qiáng)（Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓（MPa）

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環(huán)境溫度

0~40℃

建議啟東壓強(qiáng)

<100pa

分子泵前級(jí)真空泵TRP-24

(FJ620分子泵必須要配此前級(jí)泵)

（方案二） 

功率

0.75KW

電壓

380V

轉(zhuǎn)速

1450rpm

進(jìn)氣口徑

 KF25/KF40

前機(jī)泵抽氣速率（L/S）

6

極限壓強(qiáng)

4X10 -2Pa

德國(guó)Pfeiffer真空泵

（方案二） 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機(jī)泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率（N2）

33L/S

復(fù)合真空計(jì)

復(fù)合真空計(jì)型號(hào)

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計(jì)測(cè)量范圍

10-5 -10 5 Pa