1700度高真空管式爐
TL1700-C單溫區(qū)CVD系統(tǒng)詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| TL1700管式爐 |
型號 |
TL1700-C-I |
TL1700-C-II |
TL1700-C-III |
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| 爐管尺寸OD（mm） |
高純剛玉管:60/80/100*1000mm(管徑可選） 兩邊各放置兩個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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功率 |
5KW |
5KW |
6KW |
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最高溫度 |
1700℃ |
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額定溫度 |
1650℃ |
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真空爐管內(nèi)真空度 |
8X10 -4 |
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電壓 |
220V / 380V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
1800型硅鉬棒 |
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爐膛 |
1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進(jìn)口） |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、50段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1720度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費，選購） |
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過溫保護(hù) |
有 |
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過流保護(hù) |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國西門康 |
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升溫速率 |
≤20℃/分鐘（可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤10℃/分 |
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加熱段長 |
300mm |
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熱電偶 |
B型 |
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溫度校準(zhǔn)（選配） |
定期對管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持爐溫的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準(zhǔn)工具，輔助您完成這項工作，完整的校準(zhǔn)套件包括標(biāo)準(zhǔn)熱電偶，溫度校準(zhǔn)儀，補償導(dǎo)線 |
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電器認(rèn)證 |
CE |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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法蘭和閥門 |
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分子泵機(jī)組
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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分子泵
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分子泵型號 |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟動壓強 |
<10pa |
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分子泵前級真空泵 FX-32 |
功率 |
1.5KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強 |
4X10 -2Pa |
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復(fù)合真空計
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復(fù)合真空計型號 |
ZDF-III |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計測量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)使用的爐管為剛玉管時，爐體溫度高于1500℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
7.MoSi2加熱元件不得長時間在在低溫下(400℃-700℃)使用,否則將可能損壞加熱元件
TL1700 產(chǎn)品描述
管式爐以硅鉬棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3 Pa,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。
1、加熱元件
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（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長。
（2）、采用的是熱彎技術(shù)，電阻均勻，使用壽命長
（3）、Lu冷端長度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。
（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)硅鉬棒。
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
進(jìn)口爐膛 VS 國產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、該爐膛不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、觸發(fā)器
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軟啟動限流觸發(fā)器 大部分廠家使用的非限流
廈門博特觸發(fā)器
1、移相觸發(fā)（帶軟啟動和限流功能）
2. 限流功能：無論怎么調(diào)節(jié)升溫時間，我們電爐經(jīng)過變壓器后的二次電流被限制在170A以內(nèi)，有限的保護(hù)了設(shè)備。非限流觸發(fā)器，如果升溫速率設(shè)置錯誤或者過快、低溫時電流非常大，設(shè)備會跳閘或燒壞。
3、軟啟動功能：開機(jī)時電流會慢慢增大，對加熱元件的沖擊較小，有利于加熱元件壽命的延長
4、保護(hù)功能：如果電流超過限制電流、觸發(fā)器會自動切斷觸發(fā)功能以切斷電流保護(hù)電爐。
7、UL認(rèn)證變壓器
8、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
9、認(rèn)證
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管式爐標(biāo)準(zhǔn)配件
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1700管式爐 |
1套 |
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剛玉管 |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1套 |
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不銹鋼爐鉤 |
1個 |
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氧化鋁爐塞 |
1對 |
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高溫手套 |
1雙 |
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氧化鋁坩堝 |
1個 |
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| B型熱電偶 | 1個 |  |
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485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） |
1套 |
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說明書 |
1本 |
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法蘭支撐架 |
1對 |
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| 高真空抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
