1400度高真空管式爐
TL1400-C單溫區(qū)CVD系統(tǒng)詳細技術(shù)參數(shù)
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TL1400管式爐
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型號 |
TL1400-C-I |
TL1400-C-II |
TL1400-C-III |
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功率 |
4KW |
4KW |
6KW |
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爐管尺寸OD（mm） |
高純剛玉管:60/80/100*1000mm(管徑可選） 兩邊各放置兩個爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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外形尺寸（LXDXH） |
6100X490X800 |
610X490X800 |
610X550X850 |
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電源電壓 |
220V / 380V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
硅碳棒 |
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真空爐管內(nèi)真空度 |
8X10 -4 |
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控制方式 |
采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1420度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進口儀表，需要另外付費，選購） |
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護和顯示 |
有 |
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過溫保護 |
有 |
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過流保護 |
有 |
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爐膛材料 |
1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進口） |
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控制精度 |
+/- 1℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106 / 16E德國西門康 |
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最高溫度 |
1400℃ |
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額定溫度 |
1350℃ |
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升溫速率 |
≤20℃/分鐘（可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤10℃/分 |
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熱電偶型號 |
S型 |
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加熱段長度 |
300mm |
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溫度校準（選配） |
定期對管式爐進行溫度校準，可保持爐溫的準確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準工具，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括標準熱電偶，溫度校準儀，補償導線 |
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真空法蘭
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電器認證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當使用的爐管為剛玉管時，爐體溫度高于1500℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當
4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
TL1400產(chǎn)品描述
管式爐以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10 -3 Pa,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。
1、加熱元件
（1）、硅碳棒的熱端粗度d為14mm、一般廠家采用的12MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低，使用壽命長。
（2）、m冷端長度為210mm， 一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護碳棒。
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護器：
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接（選購）
該爐配可有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
4、爐膛
進口爐膛 VS 國產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛材料熱容低、熱傳導系數(shù)低，從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。
4、爐膛氧化鋁絲細而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強。
5、爐膛表面光潔、不易掉粉。
5、可選UL認證電氣板 （全部通過UL認證的進口電器）
6、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈式法蘭（選購） 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
7、認證
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管式爐標準配件
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1400管式爐 |
1套 |
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剛玉管 |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1套 |
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不銹鋼爐鉤 |
1個 |
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氧化鋁爐塞 |
2對 |
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高溫手套 |
1雙 |
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氧化鋁坩堝 |
1個 |
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| ?型熱電偶 | 1個 |  |
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485轉(zhuǎn)換接口和軟件 （選配） |
1套 |
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說明書 |
1本 |
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法蘭支撐架 |
1份 |
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| 高真空抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個 |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個 |  |
