1200℃-1400℃-1200℃三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
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管式爐
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型號(hào) |
TL1200-1400-1200-H-PE-I |
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功率 |
6KW |
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爐管尺寸 |
Dia 60(OD) X2700mm |
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電源電壓 |
220V |
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相數(shù) |
單相 |
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加熱元件 |
硅碳棒 國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲（可選配瑞典Kanthal A1 進(jìn)口電阻絲） 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 |
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控制方式
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采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)） |
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控溫模式 |
智能PID |
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斷偶保護(hù)和顯示 |
有 |
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過(guò)溫保護(hù) |
有 |
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過(guò)流保護(hù) |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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觸發(fā)器 |
移相觸發(fā) |
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電器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德國(guó)西門康 |
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最高溫度 |
溫區(qū)一：1200 ℃ 溫區(qū)二：1400 ℃ 溫區(qū)三：1200 ℃ |
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額定溫度 |
溫區(qū)一：1100 ℃ 溫區(qū)二：1300 ℃ 溫區(qū)三：1100 ℃ |
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升溫速率 |
≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） |
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推薦升溫速率 |
≤15℃/ Min |
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熱電偶型號(hào) |
溫區(qū)一：K 型 溫區(qū)二：S型 溫區(qū)三：K型 |
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加熱段長(zhǎng)度 |
溫區(qū)一：200mm 溫區(qū)二：200 mm 溫區(qū)三：200mm |
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電器認(rèn)證 |
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四周表面溫度 |
≤45℃ |
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閥門和法蘭
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功率輸出范圍 |
0-500W |
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最大反射功率 |
200W |
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工作頻率 |
射頻：13.56MHZ±0.005% |
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功率穩(wěn)定度 |
+/-0.1% | ||
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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射頻區(qū)域?qū)挾?/p> |
0-600mm 可調(diào) |
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匹配方式 |
自動(dòng) |
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冷卻方式 |
分冷 |
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噪聲 |
<50dB |
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射頻接口 |
50Ω N-type |
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輸入電源 |
208-240V 50/60HZ |
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量程和氣體 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
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耐壓 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）壓力 |
0.3MPa |
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線性 |
±0.5%F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2% F.S |
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路數(shù) |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） |
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接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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系統(tǒng)工作壓力范圍 |
0.1~0.5 MPa |
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工作溫度 |
5-45℃ |
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壓力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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靜態(tài)混氣室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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電源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波紋管 |
KF25X1000mm |
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用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) |
10 -1Pa |
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真空擋板閥 |
KF25 |
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型號(hào) |
VRD-8 |
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極限分壓強(qiáng) |
5X10-2 Pa |
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進(jìn)排氣接口 |
KF25 |
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電機(jī)轉(zhuǎn)速 |
1440RPM |
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抽氣速率 |
2.2L/S |
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電機(jī)功率 |
0.4KW |
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型號(hào) | ACP15 | |
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | ||
| 功率 | 450W | ||
| 重量 | 25KG | ||
| 最高氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | ||
| 極限壓強(qiáng) | 0.02Torr | ||
| 進(jìn)、排氣接口 | KF25 | ||
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型號(hào) |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度測(cè)量范圍 |
0.1-10 5 Pa |
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電阻硅 |
ZJ-52T |
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型號(hào) |
PCG554 |
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輸入電壓 |
24V 1A DC（配有220V變壓器） |
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真空計(jì)接口 |
KF16 |
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數(shù)字顯示 |
數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr |
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產(chǎn)品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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檢測(cè)氣體 |
可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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響應(yīng)時(shí)間 |
≤30ms |
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測(cè)量范圍 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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機(jī)組輸入電壓 |
380V /220V |
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波紋管 |
KF40X1000 |
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真空擋板閥 |
KF40 |
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機(jī)箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型號(hào) |
FJ620 |
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輸入電壓 |
380V |
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分子泵進(jìn)氣口法蘭 |
DN160 |
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分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） |
600 |
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分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) |
6×10-7 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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冷卻水壓（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷卻水溫度 |
<25℃ |
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環(huán)境溫度 |
0~40℃ |
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建議啟東壓強(qiáng) |
<100pa |
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功率 |
0.75KW |
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電壓 |
380V |
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轉(zhuǎn)速 |
1450rpm |
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進(jìn)氣口徑 |
KF25/KF40 |
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前機(jī)泵抽氣速率（L/S） |
6 |
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極限壓強(qiáng) |
4X10 -2Pa |
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電壓 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽氣接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前機(jī)泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽氣速率（N2） |
33L/S |
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復(fù)合真空計(jì)型號(hào) |
ZDF |
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電源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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真空計(jì)測(cè)量范圍 |
10-5 -10 5 Pa |
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質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)使用的爐管為石英管時(shí)，爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
TL1200-1400-1200 滑竿式三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)，由三臺(tái)滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、電動(dòng)拖動(dòng)機(jī)構(gòu)組成。
主要特點(diǎn)：
1、通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低
3、可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小
4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。
這款三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)是一款能夠快速加熱、冷卻的PECVD系統(tǒng)，是在三臺(tái)管式爐安裝一對(duì)電動(dòng)滑軌，可用電動(dòng)滑動(dòng)系統(tǒng)。加熱和冷卻速率最大可達(dá)100°C/min。為取得最快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻，可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速加熱、冷卻的雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)。
這款三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲和硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa， 分兩個(gè)溫區(qū)，兩個(gè)溫區(qū)可以獨(dú)立控制、設(shè)置不同的溫度，使用方便，操作簡(jiǎn)單，該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、生長(zhǎng)石墨烯、生長(zhǎng)各種薄膜的理想產(chǎn)品.。
1、加熱元件
（1）、硅碳棒的熱端粗度d為14mm、一般廠家采用的12MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長(zhǎng)。
（2）、m冷端長(zhǎng)度為210mm， 一般廠家采用180mm, 冷端長(zhǎng)爐頂溫度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)碳棒。
2、 電阻絲爐膛
(1)、使用真空吸附成型工藝，將加熱元件嵌入固定在耐火材料內(nèi)，是集發(fā)熱和隔熱的為一體的電熱模塊單元
(2)、使用溫度高達(dá)1250度，具有卓越的加熱效果和熱穩(wěn)定性
(3)、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本最優(yōu)的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
(4)、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
(5)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
溫場(chǎng)效果好
3、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
4、可以與電腦連接（選購(gòu)）
該爐配可有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出
5、爐膛
進(jìn)口爐膛 VS 國(guó)產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛材料熱容低、熱傳導(dǎo)系數(shù)低，從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場(chǎng)均衡。
4、爐膛氧化鋁絲細(xì)而長(zhǎng)、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。
5、爐膛表面光潔、不易掉粉。
6、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
7、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購(gòu)） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購(gòu)） 水冷法蘭（選購(gòu)）
8、認(rèn)證
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TL1200-1400-1200三溫區(qū)滑動(dòng)式PECVD系統(tǒng)標(biāo)配
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描敘 |
數(shù)量 |
圖片 |
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TL1200-1400-1200三溫區(qū)滑動(dòng)式管式爐 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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不銹鋼法蘭 |
1 套 |
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不銹鋼爐鉤 |
1 個(gè) |
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氧化鋁爐塞 |
3個(gè) |
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高溫手套 |
1 雙 |
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氧化鋁坩堝 |
1 個(gè) |
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| Ｋ型熱電偶 | 3個(gè) |  |
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485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） |
1 套 |
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說(shuō)明書 |
1本 |
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法蘭支撐架 |
1 份 |
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供氣系統(tǒng) |
1臺(tái) |  |
| VS-0.1抽氣系統(tǒng) | 1臺(tái) |  |
| 射頻電源 | 1臺(tái) |
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| 卡套 | 4個(gè) |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個(gè) |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個(gè) |  |
| 閥門接頭 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
